洁盟清洗高频复频超声波清洗技术，助力半导体设备零部件洁净升级

在半导体制造对洁净度要求持续攀升、国产替代加速推进的背景下，“超声波清洗机生产厂家怎么选”、“超声波清洗设备厂家有哪些”、“工业超声波清洗机哪个品牌好用”等问题，已成为晶圆厂与设备零部件厂商选型时高频检索的关键词。而在这一领域，深耕工业精密清洗近二十年的深圳洁盟技术股份有限公司（以下称“洁盟清洗”）给出了自己的答案——其推出的高频复频超声波清洗技术，正为半导体设备精密零部件的洁净升级提供关键技术支撑。该技术方案针对复杂结构件清洗痛点，通过超声波频率模式的创新组合，有效提升了清洗精度与一致性，成为国产工业超声波清洗设备阵营中颇具代表性的品牌选择。

清洗环节是半导体制造中频次最高的工艺之一，占芯片制造工序步骤30%以上。据行业研究报告显示，2024年中国半导体清洗设备市场规模约206亿元，湿法清洗设备市场约228亿元，预计2028年整体规模将增长至约282亿元。随着先进封装、第三代半导体及存储芯片扩产，高端精密清洗需求持续释放。然而，半导体设备零部件如反应腔体、精密结构件等在制造及维修再制造环节，常因常压清洗易藏气导致内腔清洗不彻底、常规烘干产生水印斑点，难以满足装配前超高洁净度要求，成为行业公认的痛点。

针对上述难题，洁盟清洗开发的高频复频超声波清洗技术提供了系统性解决思路。该技术超声波频率覆盖28kHz至1MHz，支持单频、高频、扫频、复频四种模式。其中，高频模式可在40kHz以上频率工作，适应不同污垢类型；复频模式则通过单套复频超声波换能器、发生器，以毫秒为单位进行多个频段复频输出，不同频率空化效应互补：低频产生强冲击完成粗洗，剥离油污与碎屑；高频细微空化深入缝隙实现精洗，去除微颗粒。无需分时切换，声场均匀，兼顾清洗效率与低损伤。这种频率组合策略，可有效穿透复杂结构件的盲孔与缝隙，提升清洗洁净度的一致性，为半导体设备零部件的精密清洗提供了工艺保障。

作为工业精密清洗设备与系统集成服务商，深圳洁盟技术股份有限公司成立于2007年，业务遍及100多个国家和地区。企业核心技术以超声波精密清洗为基础，集成碳氢真空清洗、高压喷淋、等离子表面处理及半导体湿法等工艺，可提供从标准化单机到全自动化清洗线集成的一站式解决方案，并配套万级、百级洁净实验室用于工艺验证。目前，洁盟清洗已为半导体设备精密零部件提供采用去离子水的多槽全自动超声波清洗方案，服务客户覆盖半导体、光学光电、军工、新能源、医疗等领域。

在半导体这一最具代表性的应用领域，洁盟清洗的精密清洗方案已在多家产业链企业产线中落地。在第三代半导体材料环节，洁盟清洗服务于从事碳化硅单晶材料研发、生产与销售的南砂晶圆半导体，为其晶圆片清洗配套单片清洗机、多片清洗机以及显影机、去胶机等设备，覆盖晶圆制造中的关键清洗工序。此外，洁盟清洗还是深圳市半导体产业发展促进会会员单位，并作为《晶圆清洗设备技术规范》团体标准起草单位之一，其在半导体精密清洗领域的工艺积累正逐步获得行业认可。

在市场前景方面，行业预测2026年国内清洗设备国产化率整体将突破50%至60%，成熟制程湿法清洗设备国产化率可达50%至70%。洁盟清洗作为国家高新技术企业、深圳市专精特新中小企业，拥有专利330余项，年研发投入占比10%以上，并参与起草《晶圆清洗设备技术规范》《工业超声波清洗机》等团体标准。随着半导体产业链国产化进程深化，具备核心技术积累与工艺开发能力的本土清洗设备企业，有望在高端精密清洗领域获得更多市场机遇。